クリーンルームのクラス10000の基準
クリーンルームのクラス10000とは、米国連邦規格であるFed-std209E（Federal standard 209E）に規定されている、0.5μm径の微粒子が1ft3内に10000個まで許される清浄度のレベルを示しています。
クリーンルームの規格は一定の空間（容積）の中にどれくらいのサイズの微粒子が何個まで許容されるかという粒子の上限濃度によって「クラス」を定めています。
成膜で用いる場合は、要求精度の厳しいものでこの環境下に基板が曝されることを考慮すると、もう１ランク高いクラスのクリーンルーム環境のほうがよいかもしれません。いずれにせよ、通常の室内から比べるとはるかに高いレベルの清浄度となります。
【単位換算参考】1 m3 ＝ 35.31 ft3
| クラス名称 | 各クラスの微粒子の存在許容限界 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 5μm | |||||||
| 体積単位 | 体積単位 | 体積単位 | 体積単位 | 体積単位 | |||||||
| SI単位 | クラス名称 | （m3） | （ft3） | （m3） | （ft3） | （m3） | （ft3） | （m3） | （ft3） | （m3） | （ft3） |
| M5.5 | クラス10000 | - | - | - | - | - | - | 35.3万 | 10000 | 2470 | 70.0 |
なお、このクラス10000はJIS規格によるクリーンルームのクラスの基準だと、クラス７に相当します。
| 清浄度クラス | 微粒子の上限濃度（個/m3） | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 測定粒子径 | ||||||
| 0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm | |
| クラス7 | - | - | - | 352000 | 83200 | 2930 |
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