成膜や薄膜、蒸着、スパッタのFAQ

2012年4月7日更新

成膜や薄膜、蒸着、スパッタ等に関するQ&A集をまとめてみました。加工技術の一つである「成膜」。このページでは薄膜を製造するための様々な手法の特徴や基礎的な事柄をその周辺知識も含めて少しずつまとめていきます。

成膜に関するQ&A

薄膜の特性【参考】

主として光学膜や機能膜として用いられる薄膜の代表的な特性、物性について紹介します。

酸化物の薄膜

フッ化物の薄膜

窒化膜

炭化膜

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