SiC（炭化ケイ素）コーティングの特徴と物性｜硬度、色、熱膨張係数、融点、密度、比重
SiCはセラミックス単体として使う場合、炭化物系のセラミックスでもっともよく知られる物質といっても過言ではありません。
近年最も注目を集めてきたのがパワーデバイスとしての用途で、シリコンウエハーへの代替も研究されています。
反応焼結炭化ケイ素の場合、シリコンの残留により強度が1400℃付近で低下することが知られます。対して、常圧焼結炭化ケイ素にはこうした強度低下の問題はないとされます。このように、他のセラミックス材料と同様に、製法によって物性が大きく変わります。
なお、ホウ素や炭素を少量添加したSiCは常温よりも1600℃などの高温環境下での強度のほうが強いとされます。
研磨の世界では、この硬度を活かして砥粒や研磨材としてよく知られますが、炭化膜系のコーティングとして使われることもあります。
SiC（炭化ケイ素）の物性
SiC（炭化ケイ素）のバルクとしての密度、比重、融点、熱膨張係数、熱伝導率、摩擦係数、ヤング率、曲げ強さ、引張り強さ、圧縮強さ、クリープ、硬度、衝撃強さなどの物性の参考値です。
| 組成、化学成分 | SiC |
|---|---|
| 比重、密度（g/cm3） | 3.21前後 |
| 融点（融点分解点） ℃ |
2200から2700 |
| 熱膨張係数 x10-6/℃ |
3.9（室温〜800℃）、4.6（室温〜1200℃） |
| 熱伝導率 cal/cm・s・℃ |
0.098から0.100 |
| 摩擦係数 | − |
| ヤング率 x104kgf/mm2 |
4.04（常圧焼結の高温高強度品） |
| ポアソン比 | 0.13 kgf/mm2（常圧焼結の高温高強度品） |
| 曲げ強さ kgf/mm2 |
86.7（室温） |
| 引張強さ kgf/mm2 |
− |
| 圧縮強さ kgf/mm2 |
− |
| クリープ ε（％） |
− |
| 硬度、硬さ （Hv） |
３０００から３５００ |
| 衝撃強さ kgf・cm/cm2 |
− |
| 臨界熱衝撃温度差（ΔTc） ℃ |
− |
| 特徴 | 膜としては、硬度などの物理的特性よりも、電気的特性に着目されることが多い |
スポンサーリンク
>「SiC（炭化ケイ素）コーティングの特徴と物性｜硬度、色、熱膨張係数、融点、密度、比重」についての先頭へ
- 工具コーティングのメーカーの一覧
- 受託成膜や成膜サービスを行っている企業の一覧
- 蒸着材料のメーカー一覧
- スパッタリングターゲットのメーカー一覧
- CVD材料のメーカー一覧
- 溶射材料のメーカー一覧
SiC（炭化ケイ素）コーティングの特徴と物性｜硬度、色、熱膨張係数、融点、密度、比重の関連記事
薄膜の材料特性
酸化物の薄膜
- Al2O3（酸化アルミニウム、アルミナ）
- CeO2（酸化セリウム）
- Cr2O3（酸化クロム）
- Ga2O3（酸化ガリウム）
- HfO2（酸化ハフニウム、ハフニア）
- NiO（酸化ニッケル）
- MgO（酸化マグネシウム、マグネシア）
- I.T.O（Ｉｎ２Ｏ３＋ＳｎＯ２）酸化インジウムスズ
- Nb2O5（五酸化ニオブ）
- Ta2O5（五酸化タンタル）
- Y2O3（酸化イットリウム、イットリア）
- WO3（酸化タングステン）
- TiO（一酸化チタン）
- Ti3O5（五酸化チタン）
- TiO2（二酸化チタン、チタニア）
- ZnO（酸化亜鉛）
- ZrO2+TiO2（複合酸化物）
- ZrO2（酸化ジルコニウム、ジルコニア）
フッ化物の薄膜
- AlF3（フッ化アルミニウム）
- CaF2（フッ化カルシウム）
- CeF3（フッ化セリウム）
- LaF3（フッ化ランタン）
- LiF（フッ化リチウム）
- NaF（フッ化ナトリウム）
- MgF2（フッ化マグネシウム）
- NdF3（フッ化ネオジウム）
- SmF3（フッ化サマリウム）
- YbF3（フッ化イッテルビウム）
- YF3（フッ化イットリウム）
- GdF3（フッ化ガドリニウム）
