Ga2O3（酸化ガリウム）の特性
Ga2O3は波長550nm付近で1.45の屈折率を持つ材料で、バンドギャップは5eV以下とされます。化学的・熱的に安定した物質で、薄膜としては深紫外域で用いられる酸化物やGaAsへの反射防止膜、高温酸素センサー、発光体などに使われます。
| 屈折率 | 1.45(550nm近辺) ※２ |
|---|---|
| 使用波長域 | 0.3μm～ |
| 蒸発方法 | EB（電子ビーム）、RH（抵抗加熱） |
| 蒸発源材料 | タングステン |
| 蒸発タイプ | - |
| 膜質 | - |
| 応力 | - |
| 主な用途 | - |
| 理論密度 | 5.95g/cm3 |
|---|---|
| 融点 | 1900℃ |
| 沸点 | - |
| 性質 | 水溶性：不溶 耐薬品性(酸、アルカリ)：不溶 |
| 結晶構造 | Ga2O3(α)三方晶系、600℃(転移→単斜晶系β) ※１ |
| 抵抗率ρ/10^-8Ωm | - |
| 誘電率、比誘電率εγ | - |
| 熱膨張係数 | - |
| 熱伝導率（cal/cm/sec/℃） | - |
| 比熱(cal/℃/mole) | - |
| 備考 | ５形態あるが、安定して存在できるのはβ-Ga2O3のみ。※２ |
| 外観 | - |
| CAS-NO | 12024-21-4 |
| 輸送情報 | 輸出貿易管理令（リスト規制非該当） |
参照文献
- ※１：［日本化学会編，“化学便覧 基礎編 改訂5版”，丸善（2005），p.Ⅰ-222］
- ※２：Reprinted from "Handbook of optical constants of solids"edited by Edward D.Palik Academic press page.753-760 1985 with permission from Elsevier
専門誌等で発表されているGa2O3の薄膜に関する研究論文
| 掲載誌 | Jpn.J.Appl.Phys.13, 737 and 1578 1974 |
|---|---|
| タイトル | - |
| 著者 | T.Matsumoto |
| 概要 | - |
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