WO3（酸化タングステン）の特性
WO3（酸化タングステン）は可視域に透過波長領域を持つ高屈折率材料の一つです。他の高屈折率材料に比べ、低温での蒸着が可能なため、電子ビームから基板への輻射熱の影響が少なく、熱に比較的弱い基板に対しても良好な膜が得られることが知られています。
WO3（酸化タングステン）は、光学薄膜用途のほか、エレクトロクロミック用途の機能膜としても使われます。スマートウィンドウ用途としてI.T.O等透明導電膜とWO3を組み合わせた膜構成が知られています。
なお、酸化タングステンは結合する酸素の量により色が大きく変わります。三酸化タングステンは蛍光色に近い黄色です。
| 屈折率 | 2.2(550nm近辺) ※３ |
|---|---|
| 使用波長域 | 0.4μm- ※３ |
| 蒸発方法 | EB（電子ビーム）、RH（抵抗加熱） |
| 蒸発源材料 | W,Pt,Mo |
| 蒸発タイプ | - |
| 膜質 | - |
| 応力 | - |
| 主な用途 | 電気変色膜、EC素子、エレクトロクロミック用途 |
| 理論密度 | 7.15g/cm3 |
|---|---|
| 融点 | 1473℃ |
| 沸点 | 1840℃ |
| 性質 | 水溶性：不溶 耐薬品性(酸、アルカリ)：アルカリ水溶液に可溶 |
| 結晶構造 | 単斜 ゆがんだReO3型 ※２ 斜方晶系 ※１ |
| 抵抗率ρ/10^-8Ωm | - |
| 誘電率、比誘電率εγ | - |
| 熱膨張係数 | - |
| 熱伝導率（cal/cm/sec/℃） | - |
| 比熱(cal/℃/mole) | - |
| 外観 | 黄色 |
| CAS-NO | 1314-35-8 |
| 輸送情報 | 輸出貿易管理令（リスト規制非該当） |
参照文献
- ※１：［日本化学会編，“化学便覧 基礎編 改訂5版”，丸善（2005），p.Ⅰ-357］
- ※２：［日本化学会編，“化学便覧 基礎編 改訂5版”，丸善（2005），p.Ⅱ-838］
- ※３：光学薄膜と成膜技術 李正中 署 株式会社アルバック訳 アグネ技術センター２００５年８月３０日初版第三刷
専門誌等で発表されているWO3の薄膜に関する研究論文
| 掲載誌 | Thin Solid Films, 235 (1993) 228-233 |
|---|---|
| タイトル | "Compaction of tungsten oxide films by ion-beam irradiation" |
| 著者 | W. Wagner, F. Rauch, R. Feile, C. Ottermann, K. Bange |
| 概要 | 反応性蒸着によるアモルファスなWO3膜に対して、異なる種類のイオン照射をそれぞれエネルギー（30MeVまで）、フルエンス（10^18cm^-2まで)を変えて行い、膜の緻密度向上の影響を調べた研究 |
| 掲載誌 | Thin Solid Films 377-378(2000)8-13 |
|---|---|
| タイトル | "Optical properties of Li doped electrochromic WO3 thin films" |
| 著者 | I.Porqueras, E.Bertran |
| 概要 | シリコンウエハー基板上に反応性蒸着で成膜したWO3膜がLiイオンをドープ（ガス導入時）することで、光学的特性にどのような変化を及ぼすのか調査した研究論文 |
スポンサーリンク
>「WO3（酸化タングステン、Tungsten Oxide）の特性」についての先頭へ
- WO3（酸化タングステン）のメーカー一覧
- 受託成膜や成膜サービスを行っている企業の一覧
- 蒸着材料のメーカー一覧
- スパッタリングターゲットのメーカー一覧
- CVD材料のメーカー一覧
- 溶射材料のメーカー一覧
WO3（酸化タングステン、Tungsten Oxide）の関連記事
薄膜の材料特性
酸化物の薄膜
- Al2O3（酸化アルミニウム、アルミナ）
- CeO2（酸化セリウム）
- Cr2O3（酸化クロム）
- Ga2O3（酸化ガリウム）
- HfO2（酸化ハフニウム、ハフニア）
- NiO（酸化ニッケル）
- MgO（酸化マグネシウム、マグネシア）
- I.T.O（Ｉｎ２Ｏ３＋ＳｎＯ２）酸化インジウムスズ
- Nb2O5（五酸化ニオブ）
- Ta2O5（五酸化タンタル）
- Y2O3（酸化イットリウム、イットリア）
- WO3（酸化タングステン）
- TiO（一酸化チタン）
- Ti3O5（五酸化チタン）
- TiO2（二酸化チタン、チタニア）
- ZnO（酸化亜鉛）
- ZrO2+TiO2（複合酸化物）
- ZrO2（酸化ジルコニウム、ジルコニア）
フッ化物の薄膜
- AlF3（フッ化アルミニウム）
- CaF2（フッ化カルシウム）
- CeF3（フッ化セリウム）
- LaF3（フッ化ランタン）
- LiF（フッ化リチウム）
- NaF（フッ化ナトリウム）
- MgF2（フッ化マグネシウム）
- NdF3（フッ化ネオジウム）
- SmF3（フッ化サマリウム）
- YbF3（フッ化イッテルビウム）
- YF3（フッ化イットリウム）
- GdF3（フッ化ガドリニウム）
