モニターガラスとは
モニターガラスとは、成膜装置内に取り付けられる薄いガラスパーツで、一般には１センチ角〜数センチ角の正方形の形状をしています。 成膜を行う際に、装置内部にあらかじめセットしておき、この部分にも薄膜が付着するようにしておきます。成膜後、このモニターガラスを取り外し、膜厚の測定や特性の計測などに用います。こうしたモニター用の基板のことを総称してモニターガラスと呼んでいます。材質は青板、白板などが使われますが、気泡や傷、変色、脈理などがないことが求められます。成膜のバッチ（１回の成膜ごとに）ごとに必ず使うため、量産で成膜を行う場合は、消費量もかなりの量になる部品です。単価も安いものが多いため、剥離剤などで膜をはがして再利用することは稀で、ほとんどが使い捨てです。装置によっては、正方形ではなく、特殊な形状をしたモニタガラスを使うケースもあります。
薄膜の特性【参考】
主として光学膜や機能膜として用いられる薄膜の代表的な特性、物性について紹介します。
酸化物の薄膜
- Al2O3（酸化アルミニウム、アルミナ）
- CeO2（酸化セリウム）
- Cr2O3（酸化クロム）
- Ga2O3（酸化ガリウム）
- HfO2（酸化ハフニウム、ハフニア）
- NiO（酸化ニッケル）
- MgO（酸化マグネシウム、マグネシア）
- I.T.O（Ｉｎ２Ｏ３＋ＳｎＯ２）酸化インジウムスズ
- Nb2O5（五酸化ニオブ）
- Ta2O5（五酸化タンタル）
- Y2O3（酸化イットリウム、イットリア）
- WO3（酸化タングステン）
- TiO（一酸化チタン）
- Ti3O5（五酸化チタン）
- TiO2（二酸化チタン、チタニア）
- ZnO（酸化亜鉛）
- ZrO2+TiO2（複合酸化物）
- ZrO2（酸化ジルコニウム、ジルコニア）
フッ化物の薄膜
- AlF3（フッ化アルミニウム）
- CaF2（フッ化カルシウム）
- CeF3（フッ化セリウム）
- LaF3（フッ化ランタン）
- LiF（フッ化リチウム）
- NaF（フッ化ナトリウム）
- MgF2（フッ化マグネシウム）
- NdF3（フッ化ネオジウム）
- SmF3（フッ化サマリウム）
- YbF3（フッ化イッテルビウム）
- YF3（フッ化イットリウム）
- GdF3（フッ化ガドリニウム）
窒化膜
炭化膜
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