酸化物の融点の一覧
酸化物の多くは比較的廉価で手に入るものや誘電膜としての特性から薄膜の材料としてはよく使われます。高融点の材料は、ほとんど電子銃による蒸着が一般化しています。
| 物質名 | 融点 |
|---|---|
| ZnO（酸化亜鉛） | 1975℃ 1100℃（昇華） |
| Ta2O5（五酸化タンタル） | 1468℃ |
| WO3（酸化タングステン） | 1473℃ |
| Nb2O5（五酸化ニオブ） | 1520℃ |
| I.T.O（Ｉｎ２Ｏ３＋ＳｎＯ２）酸化インジウムスズ | In2O3=850℃ SnO2=1630℃ |
| TiO（一酸化チタン） | 1750℃ |
| TiO2（二酸化チタン−チタニア） | 1850℃ |
| Ga2O3（酸化ガリウム） | 1900℃ |
| CeO2（酸化セリウム） | 1950℃ |
| NiO（酸化ニッケル） | 1955℃ |
| Al2O3（酸化アルミニウム-アルミナ） | 2015℃ |
| Y2O3（酸化イットリウム−イットリア） | 2410℃ |
| Cr2O3（酸化クロム） | 2435℃ |
| ZrO2（酸化ジルコニウム−ジルコニア） | 2677℃ |
| MgO（酸化マグネシウム−マグネシア） | 2800℃ |
| HfO2（酸化ハフニウム−ハフニア） | 2810℃ |
薄膜の特性【参考】
主として光学膜や機能膜として用いられる薄膜の代表的な特性、物性について紹介します。
フッ化物の薄膜
- AlF3（フッ化アルミニウム）
- CaF2（フッ化カルシウム）
- CeF3（フッ化セリウム）
- LaF3（フッ化ランタン）
- LiF（フッ化リチウム）
- NaF（フッ化ナトリウム）
- MgF2（フッ化マグネシウム）
- NdF3（フッ化ネオジウム）
- SmF3（フッ化サマリウム）
- YbF3（フッ化イッテルビウム）
- YF3（フッ化イットリウム）
- GdF3（フッ化ガドリニウム）
窒化膜
炭化膜
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