研磨材メーカー、ＣＭＰスラリーのメーカー一覧
「研磨材」には様々なものがあるため、砥石と同じく、それだけでは一体どのようなものか特定するのが難しいものです。分類としては、まず「固形」を保っている砥石やサンドペーパー、研磨布紙、研磨ベルトなどを「研磨材」と呼ぶ場合と、液体などにまぜて「遊離砥粒」として使うものを特に研磨材と呼ぶ場合がありますが、明確な定義が決まっておらず、各メーカーによりこの用語の使い方はまちまちといえます。なお、遊離砥粒にしても、乾式、湿式の別のほか、半導体用のＣＭＰスラリー（Chemical Mechanical polishing、化学的、機械的双方の効果を発揮する研磨）など特定の用途にしかほとんど使われないものもあります。このリンクでは双方の意味での研磨材メーカーを集めています。
- 三井金属レアメタル事業部 セリウム系研磨材
- レアメタル、酸化セリウム系のミレーク（MIREK）は光学レンズやガラス用の研磨材として有名。平均粒径の違いにより、種類が分かれている。
- Mipox（旧日本ミクロコーティング）
- 研磨フィルム、ポリッシングスラリー、ポリッシングパッド、マシーン等の製造販売をする総合研磨メーカー。ＨＤＤや光ファイバー、半導体、自動車分野などに用いられる。
- フジミインコーポレーテッド
- 遊離砥粒の研磨材で有名。砥石メーカーへ砥粒を供給していることでも知られる。精密ラッピング材であるFOや、半導体用ポリッシング材、ＣＭＰ用のポリッシング等さまざまなスペックの研磨材をラインナップとして持つ。
- ３Ｍ（住友スリーエム）研磨材製品
- スコッチブライト、トライザクト、精密研磨材（フィルム）、サンドペーパー・エンドレスベルトのほか、コンパウンドタイプなど幅広い研磨材製品を扱う。
- イチグチ
- 研磨工具のなかでもフラップ構造を持った製品を得意とするメーカー。研磨ディスクや軸付シリーズ等で知られます。研磨布紙を用いた製品と、不織布研磨材を用いた製品があります。不織布研磨材とは、からませた繊維に砥粒を付着させたもので、繊維がクッションとして作用するため、砥粒の過度の切り込みを抑えるため、ソフトなあたりで研磨が可能です。
- 光陽社 バフ研磨材
- バフ研磨材は粉を練り固めたスティック状で、回転するバフに擦りつけて使う。鉄、ステンレス、アルミ、亜鉛、銅、真鍮、樹脂、塗装面、貴金属、超硬、セラミックスなど幅広いワーク向けのものがある。
- 上村工業
- 表面処理薬品や表面処理関連機器等を製造販売するリーディングカンパニー。機器類では、プリント配線板用連続めっき装置や、高速めっき装置、フロースループレーター等を扱う。サイトの「製品紹介」コーナーのうち、表面処理薬品の電子カタログ内に「研磨剤」の項目からこの分野の製品一覧を見ることができる。工業用の多様な研磨剤を揃えており、トリポリ、ライム（アルミナ）、エメリー、青棒などをベースにしたものがある。鉄、ステンレス、チタン、アルミニウム、ダイカスト、亜鉛ダイカスト、銅、プラスチックなどのバフ研磨剤として固形バフ研磨材、液体バフ研磨材ともに豊富なラインナップを持つ。
- 川上製作所
- 新潟県西蒲原郡にてトリポリ・白棒・青棒などのバフ研磨材・油脂研磨剤の製造販売を行う。
- ミルカ
- フィンランドに本社を置く研磨材メーカー。研磨布紙、研磨不織布、ダストフリーサンディング製品を専門としており、分野としては自動車、木工、複合材、金属用の研磨材についてのラインナップがある。
- バイコウスキージャパン
- フランスの超微粉末製造メーカー。高純度アルミナ（酸化アルミニウム）、スピネル、セリア（酸化セリウム）を原料とした研磨材も得意分野とする。主要製品として、酸化セリウム（セリア）研磨材のセロックス、ＧＣ研磨材、アルミナ・セリアベースのＣＭＰスラリー、高純度アルミナ研磨材のバイカロックスがある。日本国内では千葉県習志野に会社がある。
- 扶桑化学工業
- ６Ｎクラスの超高純度のコロイダルシリカは、ＣＭＰスラリーのほか、各種ウエハー研磨材、コーティング材としても用いられている。1次粒子の大きさ別に種類がある。
- 日立化成工業
- 酸化セリウム（セリア）系のSTI用ＣＭＰスラリートップメーカー。シリカ系のスラリーに比べて研磨特性に優れたGPXにはSTI用とメタル用がある。
- JSR
- CMPスラリー大手サプライヤーの一つで研磨材のほかCMPパッドの製造・開発。プロセス材料として取り扱い。高研磨速度かつディッシングとエロージョンの小さい銅配線用スラリーや平坦化特性に優れ、スクラッチの数の少ないSTI工程研磨用高性能セリアスラリーなど特徴ある製品を出している。
- ＡＧＣ旭硝子
- 大手ガラスメーカーによるＣＭＰスラリー。酸化膜研磨用スラリー、配線材料用スラリーがラインナップにある。半導体ＣＭＰスラリーの場合、液体だけを供給しているというよりは、研磨ソリューションや設備も含めた事業を行っているメーカーが多い。
- 富士フィルム（FUJIFILM）
- フォトレジスト・フォトマスク製品といった半導体プロセス材料のカテゴリーで、Cu用CMPスラリー、バリア用CMPスラリーのラインナップを持つ。
- サンゴバン ＣＭ事業部
- フランスの多国籍企業で、素材・材料でも知られる。白色アルミナ研磨材（研削材）、単結晶アルミナ、アルミナジルコニア、セラミック、電融ジルコニア、シリカフューム、ＴＳＰ（ＹＳＴ：イットリア安定化ジルコニウム、ルビー）、研磨スラリー、ダイヤモンドコンパウンド等がある。アブレイシブ事業部では、コアビット、ダイヤモンドパッド、研磨ベルト、ディスクやカッターなどの固定砥粒タイプの製品を扱う。
- 昭和電工
- セラミックス事業部にて、研削砥石用の砥粒、砥材各種を扱う。ガラス用の酸化セリウム質研磨材「ショウロックス」や半導体デバイスのＣＭＰ工程専用の研磨材ＧＰＬ等、多彩な粉体製品がある。
- キャボット マイクロエレクトロニクス Cabot Microelectronics
- ＣＭＰスラリーでは、世界シェア１位（約６０％）といわれる。米国、イギリス、日本、シンガポールに製造工場があり、日本は三重県津市に日本キャボット・マイクロエレクトロニクスがある。
- 山口精研工業
- 名古屋にある鏡面研磨材メーカー。硬質材料用（サファイア、SiC、GaN）、ダイヤスラリー、ＭＲヘッド用、酸化物用、超精密加工用、軟質金属用、プラスチックレンズ用、窒化アルミニウム用、光学、液晶用など多彩な鏡面研磨材を製造開発する。
- D-process
- 化学的機械研磨（CMP)による平坦化加工、関連部材の製造販売。MEMSデバイスに適したオーダーメイドCMPスラリーが特徴。他にも、SiC、GaN用やTSV用などの製造開発を行う。
- 信濃電気製錬
- 炭化ケイ素(SiC)およびその関連製品を中心に製造販売。 研削・研磨用途のSiCのほか、構造材料用のものもある。研磨用としては、特に硬い被削材に有効なシナノランダムGP、シナノランダムC・GCがある。ほかに、PVA砥石、研磨材、スライスビーム、サイドプロテクター、ウエハの厚み不良やチッピング不良を軽減するフレットバー等。信越化学グループ。
- 住石マテリアルズ株式会社新素材事業部ダイヤマテリアル部
- 単結晶、多結晶のダイヤモンド砥粒の製造販売。 SCMファインスラリー、SCMファインダイヤ、SCMファインペースト、ペレット、スプレー等、研磨材として用いるダイヤモンドをラインナップに持つ。 CMP用のファインシリカスラリーやスエード製のSCMファインポリッシングパッドなどの研磨製品も扱う。
- 大栄企業株式会社
- 愛知県にて天然素材の研磨材を販売。工業用の研磨材はほとんどが人造砥粒によるものだが、こちらでは天然研磨材を扱う。とうもろこし、あんず、もも、胡桃の種等を砕いた天然の材料を研磨材として利用。軽合金やプラスチックなど比較的表面硬度の高くない素材に対して有効。
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